{"id":32528,"date":"2025-12-08T08:27:00","date_gmt":"2025-12-08T07:27:00","guid":{"rendered":"https:\/\/fmd-insight.de\/?p=32528"},"modified":"2025-12-02T13:53:33","modified_gmt":"2025-12-02T12:53:33","slug":"elektronenstrahlbedampfung-praezise-metallkontakte-fuer-halbleiter","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/fmd-insight.de\/de\/expertise\/close-ups\/elektronenstrahlbedampfung-praezise-metallkontakte-fuer-halbleiter\/","title":{"rendered":"Elektronenstrahlbedampfung<\/strong> | Pr\u00e4zise Metallkontakte f\u00fcr Halbleiter"},"content":{"rendered":"\n
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Die Elektronenstrahlbedampfung ist ein wichtiger Schritt in der Halbleiterfertigung, bei dem metallische Schichten zur Herstellung elektrischer Kontakte auf den Wafer aufgebracht werden. Diese Kontakte sind entscheidend, damit Bauelemente wie Transistoren, Dioden, Sensoren<\/strong> oder Detektoren<\/strong> sp\u00e4ter angesteuert werden k\u00f6nnen und zuverl\u00e4ssig arbeiten.<\/p>\n

Damit ein Kontakt optimal funktioniert, muss die Oberfl\u00e4che vor der Metallisierung<\/strong> allerdings absolut sauber und frei von Verunreinigungen bleiben. Deshalb ist ein schneller und schonender Prozessablauf essenziell. Die Bedampfungsanlage am Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut f\u00fcr H\u00f6chstfrequenztechnik (FBH)<\/a> erm\u00f6glicht einen solchen optimierten Prozessablauf.<\/p>\n\n <\/div>\n <\/div>\n \n <\/div>\n\n\n

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©<\/span>FBH | M.Baumbach<\/div><\/div>\n <\/div>\n\n\n

Vakuum als Schl\u00fcssel zur Reinheit<\/strong><\/h3>\n\n\n\n
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Damit eine metallische Schicht m\u00f6glichst gleichm\u00e4\u00dfig auf einen Wafer aufgetragen werden kann, muss die Bedampfungsanlage ein sehr hohes Vakuum<\/strong> erzeugen, also den Druck in der Kammer stark absenken. Dieser niedrige Druck ist notwendig, um Verunreinigungen durch Luftmolek\u00fcle oder Restgase zu vermeiden, die sonst die Waferoberfl\u00e4che beeintr\u00e4chtigen k\u00f6nnten. Au\u00dferdem sorgt das Vakuum daf\u00fcr, dass die Metallatome ungehindert und gleichm\u00e4\u00dfig auf dem Wafer abgelagert werden k\u00f6nnen, ohne mit anderen Molek\u00fclen zu kollidieren und damit eine sehr gerichtete Abscheidung erfolgt.<\/p>\n

Zeit spielt bei diesem Prozess eine entscheidende Rolle. Denn je schneller das Vakuum aufgebaut wird, desto k\u00fcrzer ist die Phase, in der die sensible Waferoberfl\u00e4che mit Restgasen reagieren kann. Die Anlage am Leibniz FBH verf\u00fcgt \u00fcber ein optimiertes Pumpsystem und Kryo-K\u00fchlfallen, sodass ein Vakuum in rund 15 Minuten erzeugt wird. Zudem k\u00f6nnen mit der Anlage verschiedenste Metalle genutzt werden.<\/p>\n\n <\/div>\n <\/div>\n \n <\/div>\n\n\n

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Elektronenstrahlbedampfer auf einen Blick<\/h3><\/span><\/th>\n <\/tr>\n \n

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Standort<\/p>\n\n <\/td>\n

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Leibniz FBH, Berlin-Adlershof<\/p>\n\n <\/td>\n <\/tr>\n

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Anschaffung<\/p>\n\n <\/td>\n

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2021<\/p>\n\n <\/td>\n <\/tr>\n

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Leistung<\/p>\n\n <\/td>\n

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  • Pr\u00e4zises Aufbringen metallischer Schichten (z. B. Titan, Platin, Gold, Iridium, \u2026)<\/li>\n
  • Herstellung von hochreinen Halbleiterkontakten<\/li>\n
  • Schnelle Evakuierung der Prozesskammer reduziert die Verunreinigung durch Restgase<\/li>\n<\/ul>\n\n <\/td>\n <\/tr>\n
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Besonderheiten<\/p>\n\n <\/td>\n

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  • Deutlich verk\u00fcrzte Pumpzeiten durch ein optimiertes Pumpsystem und den Einsatz von K\u00fchlfallen<\/li>\n
  • Argon-Ionenquelle f\u00fcr eine zus\u00e4tzliche in-situ Vorreinigung<\/li>\n<\/ul>\n\n <\/td>\n <\/tr>\n <\/table>\n <\/div>\n \n <\/div>\n <\/div>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

    Die Elektronenstrahlbedampfung ist f\u00fcr die Halbleiterfertigung entscheidend. Am Leibniz FBH werden durch ultrahohes Vakuum und kurze Prozesszeiten die Reinheit und Qualit\u00e4t metallischer Kontakte bei der Elektronenstrahlbedampfung gew\u00e4hrleistet.<\/p>\n","protected":false},"author":144,"featured_media":32532,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_acf_changed":false,"footnotes":""},"categories":[7],"tags":[],"class_list":["post-32528","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-close-ups"],"acf":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/fmd-insight.de\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/32528","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/fmd-insight.de\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/fmd-insight.de\/de\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/fmd-insight.de\/de\/wp-json\/wp\/v2\/users\/144"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/fmd-insight.de\/de\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=32528"}],"version-history":[{"count":4,"href":"https:\/\/fmd-insight.de\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/32528\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":32542,"href":"https:\/\/fmd-insight.de\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/32528\/revisions\/32542"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/fmd-insight.de\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media\/32532"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/fmd-insight.de\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=32528"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/fmd-insight.de\/de\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=32528"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/fmd-insight.de\/de\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=32528"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}