{"id":32941,"date":"2026-01-20T09:07:00","date_gmt":"2026-01-20T08:07:00","guid":{"rendered":"https:\/\/fmd-insight.de\/?p=32941"},"modified":"2026-03-17T07:42:04","modified_gmt":"2026-03-17T06:42:04","slug":"screeningtool-fur-effiziente-halbleiterfertigung","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/fmd-insight.de\/de\/projekte\/fmd-projekte\/screeningtool-fur-effiziente-halbleiterfertigung\/","title":{"rendered":"Neues Screeningtool f\u00fcr eine effiziente Halbleiterfertigung<\/strong> | Ein Green ICT Space-Projekt mit DIVE imaging systems GmbH"},"content":{"rendered":"\n
©<\/span>Adobe Stock | Montri Thipsorn <\/div><\/div><\/div>\n
\n
\n
\n \n \n \"\"\n <\/picture><\/div><\/div><\/div>\n <\/div>\n <\/div>\n
\n
<\/div> \n <\/div>\n\n \n <\/div>\n\n\n

Zielsetzung<\/strong><\/h2>\n\n\n\n
\n
\n \n

Das Ziel der Projektidee ist es, die \u00f6kologischen Einsparungen in der Halbleiterfertigung mithilfe der Hyperspectral Vision Technologie zu quantifizieren. Durch den Einsatz dieses Screeningtools k\u00f6nnen Anlagenkontrollwafer eingespart, Fehlproduktionen vermieden und Produktionskapazit\u00e4ten ressourcenschonender genutzt werden.<\/p>\n

Die DIVE imaging systems GmbH entwickelt innovative Inspektionstools, die die Vorteile der optischen Spektroskopie mit der Bildgebung kombinieren. Durch KI-Algorithmen werden die Prozessschritte in der Halbleiterfertigung umfassender kontrollierbar und der Einsatz von Betriebsmitteln kann verringert werden.<\/p>\n\n <\/div>\n <\/div>\n \n <\/div>\n\n\n

Wafermessungen in Sekundenschnelle<\/strong><\/strong><\/strong><\/h2>\n\n\n\n
\n \n
\n
\n
\n \n \n \"\"\n <\/picture><\/div><\/div><\/div>
©<\/span>DIVE imaging systems GmbH<\/div><\/div>\n<\/div><\/div>\n

Im Green ICT Space-Projekt wird das \u00f6kologische Einsparpotenzial in zwei Schritten quantifiziert. Zun\u00e4chst wird das VEpioneer-System f\u00fcr die Reinraumnutzung qualifiziert, gefolgt von der Implementierung einer weiterentwickelten Systeml\u00f6sung f\u00fcr eine 100%-ige Kontrolle der Produktionsschritte.<\/p>\n

Die Technologie von DIVE erm\u00f6glicht eine effizientere Prozesskontrolle und -steuerung in der ressourcenintensiven Halbleiterfertigung. Wafermessungen k\u00f6nnen in Sekundenschnelle durchgef\u00fchrt werden.<\/p>\n<\/div><\/div><\/div>\n <\/div>\n <\/div>\n\n\n\n

Wafermessungen in Sekundenschnelle<\/strong><\/strong><\/strong><\/h2>\n\n\n\n
\n
\n \n

Im Green ICT Space-Projekt wird das \u00f6kologische Einsparpotenzial in zwei Schritten quantifiziert. Zun\u00e4chst wird das VEpioneer-System f\u00fcr die Reinraumnutzung qualifiziert, gefolgt von der Implementierung einer weiterentwickelten Systeml\u00f6sung f\u00fcr eine 100 %-ige Kontrolle der Produktionsschritte.<\/p>\n

Die Technologie von DIVE erm\u00f6glicht eine effizientere Prozesskontrolle und -steuerung in der ressourcenintensiven Halbleiterfertigung. Wafermessungen k\u00f6nnen in Sekundenschnelle durchgef\u00fchrt werden.<\/p>\n

Durch die fr\u00fchzeitige Fehlererkennung k\u00f6nnen Ressourcen eingespart und fehlerhafte Produktion reduziert werden, was zu einer Verringerung von CO\u2082-Emissionen, Wasserverbrauch und Prozesschemikalien f\u00fchrt. In der Front-End-Fertigung sind Einsparpotenziale von bis zu 40 % m\u00f6glich. Im Projektverlauf werden die genauen Einsparpotenziale f\u00fcr jeden Prozessschritt quantifiziert.<\/p>\n\n <\/div>\n <\/div>\n \n <\/div>\n\n\n

Verbreitung und Weiterentwicklung der entwickelten Systeml\u00f6sung<\/strong><\/strong><\/h2>\n\n\n\n
\n
\n \n

Nach Abschluss des Projekts sollen die entwickelten Systeml\u00f6sungen f\u00fcr den Reinraum aktiv an Kunden in der Halbleiterfertigung vertrieben werden. Es ist geplant, die Technologie weiterzuentwickeln und ein gemeinsames Testbett f\u00fcr potenzielle Anwender aus Industrie und Wissenschaft zu etablieren.<\/p>\n\n <\/div>\n <\/div>\n \n <\/div>\n\n\n

©<\/span>Adobe Stock | Montri Thipsorn <\/div><\/div><\/div>\n
\n
\n
\n \n \n \"\"\n <\/picture><\/div><\/div><\/div>\n <\/div>\n <\/div>\n
\n
<\/div> \n <\/div>\n\n \n <\/div>\n\n\n
\n
\n \n
\n \n \n \n \n \n \n

Space-Projekt<\/strong> auf einem Blick<\/h3><\/span><\/th>\n <\/tr>\n \n

\n

Laufzeit<\/p>\n\n <\/td>\n

\n

01.01.2024\u202f\u2013 31.12.2024<\/p>\n\n <\/td>\n <\/tr>\n

\n

Projektpartner<\/p>\n\n <\/td>\n

\n

DIVE imaging systems GmbH, Fraunhofer IPMS<\/p>\n\n <\/td>\n <\/tr>\n

\n

Ziele<\/p>\n\n <\/td>\n

\n
    \n
  • Quantifizierung \u00f6kologischer Einsparpotenziale der Halbleiterfertigung
    \nEntwicklung und Reinraum-Qualifizierung eines hyperspektralen Screeningtools<\/li>\n
  • Wafermessung in Sekundenschnelle zur Reduktion von Kontrollwafern und Ressourcenverbrauch<\/li>\n
  • F\u00f6rderung effizienterer Prozesskontrolle und -steuerung durch KI-gest\u00fctzte Bildgebung<\/li>\n<\/ul>\n\n <\/td>\n <\/tr>\n
\n

F\u00f6rderung<\/p>\n\n <\/td>\n

\n

Im Rahmen des Kompetenzzentrums Green ICT @ FMD<\/p>\n\n <\/td>\n <\/tr>\n <\/table>\n <\/div>\n \n <\/div>\n <\/div>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

Mit einem hyperspektralen Screeningtool sollen Fehler in der Halbleiterfertigung fr\u00fch erkannt und Prozessschritte effizienter gesteuert werden, wodurch sowohl Materialverbrauch als auch \u00f6kologische Belastung deutlich reduziert werden k\u00f6nnen.<\/p>\n","protected":false},"author":138,"featured_media":32774,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_acf_changed":false,"footnotes":""},"categories":[104],"tags":[],"class_list":["post-32941","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-fmd-projekte"],"acf":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/fmd-insight.de\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/32941","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/fmd-insight.de\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/fmd-insight.de\/de\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/fmd-insight.de\/de\/wp-json\/wp\/v2\/users\/138"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/fmd-insight.de\/de\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=32941"}],"version-history":[{"count":3,"href":"https:\/\/fmd-insight.de\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/32941\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":32979,"href":"https:\/\/fmd-insight.de\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/32941\/revisions\/32979"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/fmd-insight.de\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media\/32774"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/fmd-insight.de\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=32941"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/fmd-insight.de\/de\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=32941"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/fmd-insight.de\/de\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=32941"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}