Front-End-of-Line (FEoL)

Das Front End of Line ( FEoL Front-End-of-Line (FEoL) ist der erste Teil der IC-Fertigung, in dem die einzelnen Bauelemente (Transistoren, Kondensatoren, Widerstände usw.) in den Halbleiter strukturiert werden. FEoL umfasst im Allgemeinen alles bis hin zur Abscheidung der metallischen Verbindungsschichten.  ) ist der erste Teil der IC-Fertigung, in dem die einzelnen Bauelemente (Transistoren, Kondensatoren, Widerstände usw.) in den Halbleiter strukturiert werden. FEoL umfasst im Allgemeinen alles bis hin zur Abscheidung der metallischen Verbindungsschichten. (Quelle: https://en.wikipedia.org/wiki/Front_end_of_line)

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