Neues Screeningtool für eine effiziente Halbleiterfertigung | Ein Green ICT Space-Projekt mit DIVE imaging systems GmbH

Das Ziel der Projektidee ist es, die ökologischen Einsparungen in der Halbleiterfertigung mithilfe der Hyperspectral Vision Technologie zu quantifizieren. Durch den Einsatz dieses Screeningtools können Anlagenkontrollwafer eingespart, Fehlproduktionen vermieden und Produktionskapazitäten ressourcenschonender genutzt werden.

Die DIVE imaging systems GmbH entwickelt innovative Inspektionstools, die die Vorteile der optischen Spektroskopie mit der Bildgebung kombinieren. Durch KI-Algorithmen werden die Prozessschritte in der Halbleiterfertigung umfassender kontrollierbar und der Einsatz von Betriebsmitteln kann verringert werden.

Im Green ICT Space-Projekt wird das ökologische Einsparpotenzial in zwei Schritten quantifiziert. Zunächst wird das VEpioneer-System für die Reinraumnutzung qualifiziert, gefolgt von der Implementierung einer weiterentwickelten Systemlösung für eine 100 %-ige Kontrolle der Produktionsschritte.

Die Technologie von DIVE ermöglicht eine effizientere Prozesskontrolle und -steuerung in der ressourcenintensiven Halbleiterfertigung. Wafermessungen können in Sekundenschnelle durchgeführt werden.

Durch die frühzeitige Fehlererkennung können Ressourcen eingespart und fehlerhafte Produktion reduziert werden, was zu einer Verringerung von CO₂-Emissionen, Wasserverbrauch und Prozesschemikalien führt. In der Front-End-Fertigung sind Einsparpotenziale von bis zu 40 % möglich. Im Projektverlauf werden die genauen Einsparpotenziale für jeden Prozessschritt quantifiziert.

Nach Abschluss des Projekts sollen die entwickelten Systemlösungen für den Reinraum aktiv an Kunden in der Halbleiterfertigung vertrieben werden. Es ist geplant, die Technologie weiterzuentwickeln und ein gemeinsames Testbett für potenzielle Anwender aus Industrie und Wissenschaft zu etablieren.