Green ICT Space | Erfolgsstory DIVE

Im Rahmen des Förderprogramms »Green ICT Space« wurde das Berliner Start-up DIVE imaging systems GmbH im Herbst 2023 vom Kompetenzzentrum Green ICT @ FMD bei der Weiterentwicklung seines Screeningtools für die Halbleiterfertigung unterstützt. In Kooperation mit den Instituten Fraunhofer IZM und Fraunhofer IPMS entstand im Projekt »NEST« ein KI-gestütztes, reinraumtaugliches Messsystem, das Prozessabweichungen frühzeitig erkennt und den Einsatz von Kontrollwafern deutlich reduziert.

Das Ergebnis ist ein innovatives System, das mithilfe hyperspektraler Bildgebung und KI Abweichungen im 28-nm-Prozess identifiziert und so laut Fraunhofer IZM bis zu 9.000 Kontrollwafer pro Monat einspart.

Von Beginn an begleitet wurde das Projekt durch Martin Landgraf. Er erklärt: »Die hyperspektralen Imaging-Systeme von DIVE bieten der Halbleiterindustrie eine neue Methode für die zerstörungsfreie Prüfung ganzer Wafer. Mit Unterstützung vom Fraunhofer IPMS im Rahmen des Förderprogramms Green ICT Space der FMD macht DIVE diese innovative Technologie nun für den Einsatz in Standard-Industrie-Reinräumen verfügbar, was zu erheblichen Produktivitätssteigerungen und Kostenreduzierungen in Halbleiterfabriken führt.«