Fraunhofer ENAS Chemnitz
Technologie-Campus 3
09126 Chemnitz

Standort:	Chemnitz
Gründung:	2008
Leitung: Prof. Dr. Harald Kuhn

Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS

Das Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS ist der Experte und Entwicklungspartner im Bereich Smart Systems und deren Integration für unterschiedlichste Anwendungen. Wir bieten innovative Lösungen und begleiten Kundenprojekte entlang der kompletten Wertschöpfungskette intelligenter Systeme.

Von der Idee über den Entwurf, die Technologieentwicklung bzw. die Umsetzung anhand bestehender Technologien bis zum getesteten Prototypen und dem Technologietransfer ist Fraunhofer ENAS zuverlässiger Innovationspartner für Start-ups, KMUs oder Großunternehmen. Das Institut setzt neben Technologieentwicklung sowie Smarten Sensor Systemen verstärkt auf den Aufbau von Applikationsdemonstratoren als Teil einer vorgelagerten Produktentwicklung.

Um unsere Aktivitäten zu fokussieren, legt Fraunhofer ENAS die Schwerpunkte im Portfolio und in der Marktbearbeitung auf die drei Business Units, die entlang der Wertschöpfungskette smarter Systeme aufgestellt sind: Process, Device and Packaging Technologies, Smart Systems sowie Test and Reliability Solutions.

©Fraunhofer ENAS

»Die gegenwärtige weltweite Situation verdeutlicht, wie wichtig die Digitalisierung ist. Folgerichtig bauen wir unsere Kernkompetenzen in der Smart Systems Integration konsequent weiter aus und setzen durch innovative Ansätze u.a. im Bereich Datenanalyse mit künstlicher Intelligenz bzw. Sicherheit der Systeme neue Impulse.«

Prof. Dr. Harald Kuhn, Institutsleiter des Fraunhofer ENAS

Geschäftsfelder

©Ines Escherich | Fraunhofer ENAS

Process, Device and Packaging Technologies

Simulation of processes, materials, and components
Micro- and nanotechnological processes
3D/MEMS packaging
MEMS and MOEMS technology platforms
Nanotechnological components and systems

©Ines Escherich | Fraunhofer ENAS

Smart Systems

Inertial components and systems
Microfluidics for lab-on-a-chip systems
Optical components and systems
Hybrid and wireless sensors and systems
RF components and systems
Acoustic components
Printed Functionalities
Smart Health

©Adobe Stock | Grispb

Test and Reliability Solutions

Component and system reliability
Functional, high-power and wafer-level testing
Digital twin/cyber-physical systems
AI-supported data treatment and dvelopment of electronic systems

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Forschung und Entwicklung

©Fraunhofer ENAS

Technologien

MEMS and MOEMS
Back-end of Line Technologies
Fluidic Integration
Nano Integration
Printing

©Adobe Stock | sandsun

Prozesse

Cleaning & Deposition
Lithography & Patterning
3D Integration
Polishing & Wafer Thinning
Laser Micromachining

©Adobe Stock | Viacheslav Yakobchuk

Analytik und Charakterisierung

Process-Accompanying Analytical Methods
In Situ Plasma Diagnostics
Optical Inspection
Bond Quality Evaluation

©Adobe Stock | wutzkoh

Design, Simulation und Modellierung

MEMS/NEMS
Electronics and Communication
Fluidic systems
Reliability

©Fraunhofer ENAS

Test

Wafer and Chip Test
Test Programs for Component and System Tests
Reliability

©Fraunhofer ENAS

Demonstratoren und Prototypen

High-precision silicon-based inertial sensors
RF MEMS
Ultra-low power MEMS
Optical sensors/MOEMS
Magnetic field sensors
Printed components
Material and structural sensors

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Als zuverlässiger Innovationspartner entwickelt das Fraunhofer ENAS hochpräzise Sensorik sowie neue Sensor- und Aktorsysteme, die auf integrierten Nanostrukturen und Standardtechnologien basieren. Dabei werden Beyond-CMOS-Bauelemente, Integrationstechnologien und erweiterte Zuverlässigkeitskonzepte berücksichtigt und durch innovative Ansätze im Bereich Simulation, Datenanalyse mit künstlicher Intelligenz sowie Sicherheit der Systeme ergänzt. Durch Requirement Engineering adaptieren wir die Systeme für unterschiedliche Anwendungen und betten sie in übergeordnete komplexere Systeme ein.