27.03.2025 News Interviews

Vom MEMS-Scanner zum LiDAR-System | Über die Weiterentwicklung einer besonderen Technologie

©Adobe Stock | Vitte Yevhen

Im Interview: Prof. Shanshan Gu-Soppel vom Fraunhofer ISIT

Für Bereiche wie z. B. autonomes Fahren, Smart Cities und industrielle Produktion wird es immer wichtiger, Technologien zu entwickeln, mit denen Objekte und Gegenstände in Echtzeit automatisch erkannt werden können. Dazu müssen große Flächen und Räume exakt, schnell und mit minimalem Energieaufwand gescannt werden. MEMS-Scanner ermöglichen genau dies. Wir sprachen mit Prof. Dr. Shanshan Gu-Stoppel, Gruppenleiterin für Optische Mikrosysteme am Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT, über MEMS-Scanner, deren Einsatz in LiDAR-Anwendungen und welche Rolle die APECS-Pilotlinie in Bezug auf die Technologie künftig spielen wird.

©Fraunhofer Mikroelektronik

Prof. Gu-Stoppel, Sie haben uns heute etwas mitgebracht. Was genau sehen wir hier?

»Wir sehen eine LiDAR-Kamera – also eine 3D-Kamera –, die wir auf Basis von 2D-MEMS-Scannern entwickelt haben. MEMS (Mikro-Elektro-Mechanische Systeme) sind kleine, mikroskopische Mechanismen, die auf einem Siliziumchip montiert werden, um mechanische, elektrische und optische Funktionen zu integrieren. Zum Einsatz kommen sie in verschiedenen Bereichen – wie Sensorik, Aktuatorik und Kommunikation. Speziell MEMS-Scanner nutzen mechanische Bewegungen, um Licht oder Laser zu steuern. Sie können sich schnell und präzise in zwei Dimensionen bewegen und, zusammen mit einer Laserquelle und genauen Photodetektoren, Daten der dreidimensionalen Umgebung erfassen. Das ist das grundlegende Funktionsprinzip von LiDAR-Kameras – ein optisches Messsystem, das mit Laserstrahlen arbeitet, um Entfernungen und Formen von Objekten zu messen.

Wie genau funktioniert so ein MEMS-Scanner, wie wir ihn hier sehen? Können Sie uns etwas mehr zum Aufbau erzählen?

Gern. Schauen wir uns einmal das Zentrum des Chips an. Hier sieht man im Inneren einer transparenten Glaskuppel eine glänzende, reflektierende Spiegelfläche. Diese kleine Fläche wird von einer hauchdünnen Siliziumfeder gehalten, die als Aufhängung dient. Auf der Siliziumfeder wird ein Piezo-Antriebsmaterial abgeschieden, sodass sich die kleine Spiegelfläche bewegen kann. Außerdem schließt die Glaskuppel den MEMS-Scanner im Vakuum ein. Diese Vakuumumgebung ist entscheidend, um die Funktionalität des Scanners zu optimieren und die Bewegungen des Spiegels stabil zu halten. Sie minimiert den Luftwiderstand und ermöglicht es dem Scanner, sich mit geringem Energieaufwand zu bewegen. So kann er präzise und effizient arbeiten, ohne viel Energie zu verbrauchen. Dass das Glas in Form einer Kuppel ist, hat natürlich auch seine Bewandtnis. Die Kuppelform sorgt dafür, dass die Reflexion des Lichts gleichmäßig verteilt wird.

Warum ist eine gleichmäßige Verteilung des Lichts zu wichtig?

Durch eine gleichmäßige Lichtverteilung kann der MEMS-Scanner nicht nur einzelne Punkte, sondern ganze Flächen messen. So kann ein größeres Messfeld abgedeckt werden, wodurch der Scanner effizienter wird und eine umfassendere Messung der Umgebung ermöglicht. Schauen wir uns das gern einmal im Detail an: Wenn wir zum Beispiel einen Laserpointer auf eine Wand richten, entsteht ein kleiner Punkt. Wird der Laser jedoch auf einen beweglichen Spiegel gestrahlt, bewegt sich der Reflexionspunkt mit dem Spiegel. Bei einer einfachen 1D-Bewegung des Spiegels würde der Punkt zu einer Linie werden. Das ist die 1D-Bewegung. Wenn sich der Spiegel jedoch in 2D bewegt, erzeugt der Reflexionspunkt eine Matrix oder ein Gitternetz.

 

Dieses Gitternetz ist wichtig für Systeme wie LiDAR, die Entfernungen messen. Bei LiDAR wird beispielsweise die Flugzeit des Laserstrahls ausgewertet – also die Zeit, die der Laserstrahl benötigt, um zu einem Objekt zu gelangen und nach der Reflektion zurückzukehren. Wenn das Licht nur an einem Punkt reflektiert wird, lässt sich lediglich die Entfernung zu diesem Punkt messen. Doch wenn der Spiegel des MEMS-Scanners sich bewegt, kann er den Laserstrahl in verschiedene Richtungen lenken. So wird nicht nur eine einzelne Entfernung gemessen, sondern verschiedene Punkte oder ganze Flächen. Das bedeutet, mit nur einer Laserquelle und einem beweglichen Spiegel kann man eine weitaus größere Fläche messen und so eine größere Szene abdecken. Dies ist der Mechanismus, der in LiDAR-Kameras zum Einsatz kommt.

Wie groß ist so ein Feld, dass Sie am Fraunhofer ISIT messen können?

Neulich haben wir es geschafft, eine Abdeckung von 90 x 90 Grad zu erreichen. Das bedeutet, dass die LiDAR-Kamera zum Messziel einen Abstand von 4 Metern hat. Damit ist es möglich, ein Feld von 8 x 8 Metern zu durchleuchten und Daten aus diesem Bereich zu erfassen. Das ist sehr groß und bisher einzigartig.

 

Das Ergebnis entstand in einem Fraunhofer-Leitprojekt – und wir arbeiten weiter an dem Thema. Das ist auch eine Teilaufgabe in APECS, der wir uns widmen werden. Natürlich machen wir nicht das Gleiche wie zuvor. Wir machen es noch besser und entwickeln die Technologie Schritt für Schritt weiter, mit den Ziele, noch höher integriert, noch präziser und noch energieeffizienter zu werden.

Wo kommt der MEMS-Scanner – bzw. die LiDAR-Kamera – schon zum Einsatz und wo soll es forschungstechnisch tendenziell noch hingehen?

LiDAR-Kameras kommen u. a. zunehmend zum Einsatz, um z. B. Robotern und Maschinen in der Industrie das »Sehen« in hellen, dunkeln oder komplexen Umgebungen zu ermöglichen. Ein Beispiel: LiDAR-Kameras könnten unter dem Dach einer Produktionshalle installiert werden, in der leistungsstarke Roboterarme arbeiten. In der Regel sollten Menschen nicht in die Nähe eines solchen Roboters kommen, da Gefahrensituationen entstehen können. Doch im Produktionsprozess ist das nicht immer zu vermeiden. Ein Map-Sensorsystem – bestehend aus der LiDAR-Kamera und einem neuromorphischen Accelerator – ermöglicht daher eine kontinuierliche Überwachung der Umgebung.

©Fraunhofer Mikroelektronik

So kann das System nicht nur feststellen, dass ein Mensch zu nahe kommt, sondern auch andere unvorhergesehene Objekte oder Gefahren erkennen. Die Technologie erfasst und verarbeitet Daten in Echtzeit, sodass der Roboterarm sofort gestoppt und in eine sichere Position versetzt werden kann. Dies sorgt nicht nur für die Sicherheit der Mitarbeitenden, sondern auch für die effiziente Zusammenarbeit zwischen Mensch und Maschine, selbst in dynamischen und komplexen Arbeitsumfeldern.

 

In APECS arbeiten wir dann daran, noch zusätzliche Sensoren zu installieren und der Technologie somit weitere Sinne zu verleihen. Also Hören, Fühlen, Riechen … Jeder Sinn soll durch ein Sensorsystem ersetzt werden, sodass die produktionsfähige Maschine diese Fähigkeiten besitzt. Das würde die industrielle Produktion und auch die menschliche Arbeit enorm erleichtern und die Produktivität deutlich erhöhen. Davon abgesehen könnte eine solche Technologie natürlich auch im Haushalt oder beispielsweise im Automotivbereich eingesetzt werden. Ich glaube, multisensor-fähige Systeme werden unser Leben und unsere Welt in Zukunft sehr verbessern.

Sie haben eben das Stichwort »neuromorph« genannt. Wie hängt die LiDAR-Technologie mit den Bereichen Quantencomputing und neuromorphes Computing zusammen?

Im Vergleich zu herkömmlichen Computern, die oft mit komplexen Prozessen zu kämpfen haben, zielen Quanten- und neuromorphes Computing darauf ab, die Geschwindigkeit und Effizienz der Datenverarbeitung zu verbessern und die Grenzen der aktuellen Systeme zu erweitern, was besonders bei Echtzeitdaten aus LiDAR-Systemen von Vorteil sein könnte.

 

Sie müssen sich das so vorstellen: LiDAR-Systeme sind wie unsere Augen – sie nehmen viele Informationen auf. Doch ohne ein Gehirn, das diese Daten verarbeitet und Entscheidungen trifft, sind die Informationen nicht nützlich. Es ist nicht schwer, mit LiDAR-Systemen einen Laserstrahl zu erzeugen und jedes Photon, das zurückkommt, zu messen. Das Problem liegt darin, dass herkömmliche Computer nicht effizient mit dieser riesigen Menge an Daten umgehen können. Der Computer sieht zwar das Bild, aber um eine Entscheidung zu treffen, muss er große Mengen an Informationen »abschneiden«, was zu einem Verlust von Details führt. Wenn wir jedoch in der Lage sind, die Daten schneller und effizienter zu verarbeiten, können wir auch viel mehr von den Informationen nutzen, die das LiDAR-System aufgenommen hat, und somit genauere und fundiertere Entscheidungen treffen. In der Industrie oder im Automotiv-Bereich ist das sicherheitsrelevant. Von daher arbeiten wir auf vielen verschiedenen Ebenen daran, unsere Technologien zu verbessern – nicht nur hinsichtlich der Verknüpfungen zu anderen Themengebieten wie QNC. Wir wollen unsere LiDAR-Technologie und die MEMS-Scanner noch weiter komprimieren und auch die Ansteuerungselektronik kleiner hinbekommen. Das ist auch ein Vorhaben in APECS.

Auf APECS sind wir jetzt schon ein paar Mal zu sprechen gekommen. Die Pilotlinie für resiliente, umweltverträgliche und vertrauenswürdige heterogene Systeme soll in den kommenden Jahren entwickelt und aufgebaut werden und die Innovationsfähigkeit der europäischen Industrie in ihrer gesamten Breite fördern. Können Sie uns etwas zum Start der Pilotlinie und den Zielen sagen?

Nun, dazu muss man zunächst verstehen, warum die EU dieses Thema so unterstützt. Ziel ist es, die Wettbewerbsfähigkeit auf globaler Ebene zu stärken und den Anschluss an führende Technologiemärkte nicht zu verlieren. In der Vergangenheit haben wir uns in bestimmten Bereichen überholen lassen. Oft haben wir Teile der Produktion dorthin verlagert, wo sie günstiger war. Das ist eine logische Entscheidung, wenn die Globalisierung funktioniert. Doch inzwischen wissen wir, dass wir Innovationen verpassen, wenn wir uns nicht selbst auf diese Technologien konzentrieren und die nötige Expertise im eigenen Land aufbauen. Forschung und Entwicklung müssen lokal unterstützt werden, um wettbewerbsfähig zu bleiben. Wenn wir uns nur auf externe Lieferanten verlassen, schränken wir auch unsere eigene Innovationskraft für die Zukunft ein. Genau an diesem Punkt kommt die APECS-Pilotlinie ins Spiel. Wir wollen das Thema Heterointegration ernst nehmen und auch die Möglichkeiten ausloten.

 

Daher wollen wir am Fraunhofer ISIT im Rahmen der APECS-Pilotlinie das Thema Sensor-Fusion vorantreiben. Sensor-Fusion bedeutet nicht nur, dass wir die besten Komponenten entwickeln, sondern auch, dass die Interfaces perfekt aufeinander abgestimmt sind. Es geht darum, verschiedene Systeme nahtlos zusammenzuführen und sicherzustellen, dass sie als funktionierende Einheit arbeiten. Salopp gesagt: Wir machen die Dinge noch multifunktionaler, noch kleiner und kompakter. Dazu arbeiten wir auch mit vielen Partnern zusammen. Und ich denke, am Ende der Pilotlinienlaufzeit können wir zeigen, dass die Entwicklungsumgebung und die gesamte Lieferkette für diese Technologie in Europa vorhanden sind und dass wir in der Lage sind, innovative Technologien unter den besten Bedingungen zu entwickeln und diese in marktreife Produkte umzusetzen.

 

Ich freue mich auf jeden Fall sehr auf die Arbeit und vor allem auf die Zusammenarbeit mit unseren Partnern und Kolleg:innen.

FMD.institute mit Bezug zu diesem Text

FMD.projekte mit Bezug zu diesem Text